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    減薄拋光機

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    設備名稱 減薄拋光機 品牌型號 萊鉑LP062

    設備用途
    利用機械砂輪和晶圓的摩擦,使襯底形成損失層,達到對晶圓進行減薄厚度以及達到特定粗糙度的目的。
     
    主要技術指標:
    樣品尺寸:可同時研磨拋光4英寸及其以下尺寸樣品
    精度: 2英寸以下晶圓磨拋精度±1微米;
               3英寸晶圓磨拋精度±2微米;
               4英寸晶圓磨拋精度±3微米;
               5英寸晶圓磨拋精度±4微米;

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