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    自動顯影機

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    設備名稱 自動顯影機  品牌型號 MAX100SVS 

    設備用途
    通過高速旋轉的電機帶動晶圓轉動,結合自動噴涂顯影液和背洗,從而實現晶圓的顯影工藝。帶有自動熱板和冷板。

    主要技術指標:
    可用晶圓尺寸:2inch 3inch
    最大轉速:4500rpm
    轉速偏差:±5RPM
    熱板溫度范圍: 室溫-160℃
    冷板溫度范圍:室溫-25℃
    顯影均勻性:5%

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    青島翼晨鐳碩科技有限公司

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