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    自動勻膠機

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    設備名稱 自動勻膠機  品牌型號 (2C)KS -S(III)100 -2

    設備用途
    通過高速旋轉的電機帶動晶圓轉動,結合自動滴膠,將光刻膠均勻的涂覆到晶圓上。帶有自動熱板和冷板。

    主要技術指標:
    可用晶圓尺寸:2inch 3inch
    最大轉速:4500rpm
    轉速偏差:±1RPM
    熱板溫度范圍: 50-150℃
    冷板溫度范圍:18-28℃
    膜厚均勻性:3%(對2μm厚度以下膠)

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    青島翼晨鐳碩科技有限公司

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